脆性材料切割設(shè)備
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海目星激光
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海目星-產(chǎn)品
OVERVIEW
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
脆性材料切割設(shè)備
本設(shè)備用于脆性材料切割，采用隱切工藝，配備自主研發(fā)的高度跟隨系統(tǒng)，達(dá)到精準(zhǔn)的切割深度，提升產(chǎn)品切割質(zhì)量，從而提升產(chǎn)品良率，降低制造成本。
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脆性材料切割過程展示圖
ADVANTAGE
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
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單/多焦點(diǎn)自由切換，可以適應(yīng)更多不同厚度的產(chǎn)品，兼容能力強(qiáng)，根據(jù)不同產(chǎn)品厚度對(duì)其進(jìn)行切換
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可自由選擇單/多焦點(diǎn)加工模式
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自研激光器，長(zhǎng)期工作穩(wěn)定可靠
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一鍵自動(dòng)化流程，無需人力介入
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具備高度跟隨響應(yīng)自動(dòng)跟隨補(bǔ)償技術(shù)
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殘片智能識(shí)別輪廓加工
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切割產(chǎn)品兼容4、6、8寸產(chǎn)品
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基本信息
- 設(shè)備尺寸：長(zhǎng)2000mm × 寬2350mm × 高2100mm (不含EFU、輔助設(shè)備、 指?燈)
- 設(shè)備重量：2000Kg
- 加工類型：藍(lán)寶?、半導(dǎo)體材料、脆性材料
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產(chǎn)品性能
- 切割尺寸精度：<±2μm
- 設(shè)備良率：99.9%
- 切割錐度：<3°
- 切割外觀效果：無切割邊緣崩邊、掛角
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