OVERVIEW
產品簡介
Micro LED巨量轉移設備
本設備用于Micro LED巨量轉移將微米級LED芯片轉移至臨時基板，并完成RGB三色芯片排片及單點異常修補等核心制程。在合適工藝參數下達到高良率、高精度，高速率轉移的同時，還可實現對任意尺寸，任意間距RGB芯片選擇性轉移。成為MicroLED規模化生產中最具潛力的轉移技術方案之一。
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轉移前后對比
ADVANTAGE
產品優勢
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獨有的自動拼接和re-pitch功能，可實現目標基板任意尺寸，任意間距的純色或者三色MicroLED芯片陣列轉移
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同時兼容巨量轉移和修復補芯制程，巨量轉移良率≥99.99%,修復后良率可達99.999%
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最大可兼容12.7寸轉移，轉移精度≤±1.5μm,角度≤±1°
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自動化三色芯片轉移
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基本信息
- 設備尺寸：長2250mmx寬1850mmx高2450mm
- 最大行程：X軸400mm × Y軸450mm
- 最大加工尺寸：150*250mm
- 設備重量：3800Kg
- 加工類型 ：Micro LED芯?巨量轉移/單點修復轉移
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產品性能
- 設備每小時產出：35kk
- 加工基板大小：＜150*250mm
- 加工芯片最小尺寸：10μm
- 設備轉移綜合精度：±1μm
- 設備轉移良率：99.999%
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